ห้องสุญญากาศสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แท่นวางสำหรับการผลิตจอแสดงผลแบบแบน และโครงสร้างอัตโนมัติที่มีความแม่นยำสูง มักใช้แผ่นอลูมิเนียมหรือสแตนเลสขนาดใหญ่ ชิ้นส่วนเหล่านี้ต้องการความเรียบระดับไมครอนที่แม่นยำ ตำแหน่งที่ถูกต้อง และพื้นผิวซีลโอริงที่สมบูรณ์แบบ การกลึงช่องลมขนาดเล็กหลายร้อยช่อง ร่องซีล และรูเซ็นเซอร์หลายมุมบนแผ่นขนาดใหญ่ ต้องใช้ความเร็วในการหมุนสูงและความแม่นยำที่สมดุลทางไดนามิก
หัวกัดความเร็วสูงและหัวกัดอเนกประสงค์ของ Gong Yang โดดเด่นด้วยระบบปรับสมดุลไดนามิกที่แม่นยำและอัตราทดเกียร์สูงที่สามารถทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือที่ความเร็วสูงสุดถึง 2000+ รอบต่อนาที เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกัดเบาความเร็วสูง การเจาะรูขนาดเล็ก การตอกเกลียวที่แข็งแรง และการขัดผิวซีลอย่างละเอียด การทำงานด้วยระบบหมุน 360° ที่อเนกประสงค์ ทำให้สามารถเจาะรูด้านข้างและเจาะรูเซ็นเซอร์แบบทำมุมที่ด้านข้างของห้องได้โดยใช้การจับยึดเพียงครั้งเดียว ขจัดความผิดเพี้ยนระดับไมครอนที่เกิดจากการจับยึดซ้ำ
ห้องสุญญากาศสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์จับยึดแผ่นเวเฟอร์ โต๊ะสุญญากาศสำหรับจอแสดงผลแบบแบน (FPD) และแผ่นโครงสร้างอัตโนมัติความแม่นยำสูง
