半導體製程設備、面板顯示器真空腔體、晶圓傳輸機架以及自動化精密平台,多採用大面積鋁合金板材或不鏽鋼結構件。此類工件尺寸龐大但公差要求極端嚴苛(如極高的平面度、嚴密的位置度與密封槽光潔度),且零件周圍佈滿大量微細氣路孔、密封面密封槽與多角度感測器安裝孔,加工時對主軸轉速、動態動平衡與微調角度精度要求極高。
功陽高速角度頭與萬向銑頭具備優異的動平衡調校與高精度齒輪傳動機構,最高運轉速度可達 2000 rpm 以上,能對應高速輕切削、微小徑鑽孔、螺紋攻牙與密封面微精銑。透過 360° 全方位微調定位,可在單次裝夾下精準切削真空腔體側面的複雜密封法蘭槽與斜向訊號穿透孔,有效避免二次翻面夾持造成的微米級應力形變與面公差跑位。
半導體真空腔體(Vacuum Chambers)、晶圓承載托盤治具、平板顯示器(FPD)大型加工平台、自動化設備精密鋁機架。