半導体真空チャンバー、フラットパネルディスプレイ製造ステージ、精密自動化フレームなどでは、大型のアルミニウム板やステンレス鋼がよく使用されます。これらの部品には、ミクロンレベルの厳密な平面度、正確な位置精度、そして完璧なOリングシール仕上げが求められます。大型プレート上に数百もの微細な空気圧チャネル、シール溝、多角度センサー穴を加工するには、高速回転と動的バランスの取れた高精度加工が必要です。
Gong Yangの高速アングルヘッドとユニバーサルフライスヘッドは、精密な動的バランス調整と高比ギアリングを採用し、2000rpm以上の高速回転でも安定した動作を実現します。高速軽切削、小径穴あけ、リジッドタッピング、シール面の微細仕上げ加工に最適です。360°の汎用インデックス機構により、チャンバー側面へのサイドポート加工や角度付きセンサーポート穴あけ加工を、一度の治具クランプで実施でき、再クランプによるミクロンレベルの歪みを排除します。
半導体用真空チャンバー、ウェハ搬送治具、FPD真空テーブル、高精度自動化構造プレート。
